1200-PE60 PECVD系统
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产品描述
PECVD系统就是为了使传统的化学气象沉积(CVD)反应温度降低，在普通CVD装置的前端加入RF射频感应装置将反应气体电离，形成等离子体，利用等离子体的活性来促进反应，所以这个系统称为增强型化学气相沉积系统(PECVD)。
该型号PECVD综合了国内大多数厂家的管式PECVD系统的优点，在PECVD前端加入了气体预热区，实验证明此结构沉积速度快，成膜质量好，针孔较少，不易龟裂。
技术参数
| 管式炉（加热部分）参数介绍 | |
| 炉膛模式 | 开启式炉膛 |
| 显示模式 | 7英寸触摸屏 |
| 温度 | 1200℃ |
| 工作温度 | ≤1150℃ |
| 升温速率 | 建议10℃/Min Max：30℃/Min |
| 炉体移动 | 无极调速，根据工艺自动移动 |
| 辅助预热 | 加热区200mm（足够长度才能保证温度准确度） |
| 温区长度 | 440mm（沉积区），200mm（预热区） |
| 炉管规格 | 80*2000 mm |
| 控温精度 | ±1℃ |
| 密封方式 | 快捷法兰连接密封 |
| 温度曲线 | 30段"时间—温度曲线"任意可设 |
| 控制系统 | 加热控制、炉体移动、流量控制、真空系统按照设定一键自动完成整个工艺处理 |
| 预存曲线 | 可预存15条工艺曲线，直接保存并随时调用 |
| 测温元件 | K型热电偶 |
| 炉膛材料 | 高纯氧化铝纤维 |
| 加热材料 | 掺钼铁铬铝合金加热丝 |
| 射频电源功率 | |
| 信号频率 | 13.56 MHz±0.005% |
| 功率输出范围 | 0-500W |
| 功率稳定度 | ±0.1% |
| 谐波分量 | ≤-50dbc |
| 供电电压 | 单相交流（187V-253V） 频率50/60HZ |
| 整机效率 | >=70% |
| 功率因素 | >=90% |
| 冷却方式 | 强制风冷 |
| 控制方式 | 预先设定功率大小，自动运行 |
| 真空部分 | |
| 真空度控制 | 自动平衡到用户设定真空度。 |
| 正压保护 | 工作腔内压力实时监测，大于设定值自动放气 |
| 工作电电压 | 220V±10% 50~60HZ |
| 功率 | 500W |
| 抽气速率 | 2L\s |
| 进气口口径 | KF25 |
| 排气口口径 | KF25 |
| 转速 | 1450rpm |
| 系统真空度 | ≤10Pa |
| 三路供气系统 | |
| 流量计类型 | 质子流量控制器 |
| 准确度 | ±0.35% |
| 重复精度 | ±0.2% |
| 响应时间 | 气特性：1 Sec |
| 工作压差范围 | 0.1～0.5 MPa |
| 气路管道 | 304不锈钢 |
| 连接接通 | 双卡套不锈钢接头 |
| 气体种类 | 氮气、氩气、甲烷、二氧化碳、氢气等等（50～500sccm） |
| 进气控制 | 每路气体均可定时通断，根据工艺自动切换所需气体 |
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