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河南创合实验室设备有限公司
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常规CVD系统由管式炉、流量混合器、真空系统三部分组成。该系统可以满足绝大部分气氛和真空环境下的小样品试验。每个部分都可以单独匹配成不同部件以满足不同的实验条件,如流量计可以选择浮子流量计或质量流量计,单通道或者多通道,管式炉可以选择1200℃/1500℃/1700℃单温区或者多温区炉子。
主要参数: